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一种光学测量入射角度的调节装置及方法

基本信息

申请号 CN202011529598.5 申请日 -
公开（公告）号 CN112666080A 公开（公告）日 2021-04-16
申请公布号 CN112666080A 申请公布日 2021-04-16
分类号 G01N21/01;G02B7/182 分类 测量；测试;
发明人 俞伟洋;陈坚;吴周令 申请（专利权）人 合肥利弗莫尔仪器科技有限公司
代理机构 合肥天明专利事务所（普通合伙） 代理人 韩燕
地址 230031 安徽省合肥市高新区望江西路800号创新产业园C4楼206室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种光学测量入射角度的调节装置及方法，光学测量入射角度的调节装置包括有第一反射镜、第二反射镜、直线模组和旋转滑台，第一反射镜和第二反射镜均固定于对应的二维调整镜架上，旋转滑台连接于直线模组上由直线模组驱动进行直线移动，固定有第二反射镜的二维调整镜架连接于旋转滑台上由旋转滑台驱动进行转动，第二反射镜的反射面朝向第一反射镜的反射面使得第一反射镜反射面反射出来的光线反射到第二反射镜的反射面上。本发明能减小变角度光路能量变化，大大降低反射率变化的范围，满足测试精度要求。