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一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置

基本信息

申请号 CN201821759270.0 申请日 -
公开（公告）号 CN209183510U 公开（公告）日 2019-07-30
申请公布号 CN209183510U 申请公布日 2019-07-30
分类号 H01L21/67（2006.01）I; H01L21/683（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 厉惠宏; 胡晓光; 徐继东 申请（专利权）人 浙江金瑞泓科技股份有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所 代理人 宋缨;孙健
地址 315800 浙江省宁波市保税区0125-3地块
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，包括工作台，工作台的上端安装有清洗腔底罩，清洗腔底罩上端安装有清洗腔排水罩，洗腔排水罩上端中部安装有真空罩杯，清洗腔底罩内竖直安装有高转速电机，高转速电机上端的输出轴连接有驱动轴，驱动轴的上端竖直穿过真空罩杯与吸盘相连，驱动轴内设置有连接吸盘与真空罩杯腔体的管路，真空罩杯一侧开有与抽真空设备相连的接口，高转速电机一侧设置有相配的减速装置。本实用通过高转速电机控制吸盘转动，升降气缸控制圆盘刷上下升降，旋转气缸控制摆杆轴带着圆盘刷一起转动，自动化程度高，大大降低了人工成本，通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤。