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一种硅片刷片机

基本信息

申请号 CN201811269321.6 申请日 -
公开（公告）号 CN109346424A 公开（公告）日 2019-02-15
申请公布号 CN109346424A 申请公布日 2019-02-15
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 胡晓光;徐继东;厉惠宏 申请（专利权）人 浙江金瑞泓科技股份有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所 代理人 宋缨;孙健
地址 315800 浙江省宁波市保税区0125-3地块
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种硅片刷片机，包括料盘升降装置、传送装置和转动装置，所述的工作台上端中部安装有转动装置，该转动装置的前、后方对称布置有传送装置，所述的传送装置靠近转动装置的一侧安装有放置座，该传送装置的另一侧安装有料盘升降装置，所述的放置座与转动装置之间设置有转运装置。本发明通过高转速电机控制吸盘转动，升降气缸控制圆盘刷上下升降，旋转气缸控制摆杆轴带着圆盘刷一起转动，自动化程度高，大大降低了人工成本。本发明通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤；通过料盘升降装置实现料盘盒的升降，方便将料盘盒中的硅片从下往上依次一个一个送去清洗，自动化程度高，大大降低了人工成本。