一种防止硅片放偏的自动探测控制系统
基本信息
| 申请号 | CN202023072836.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214311426U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214311426U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G05B19/414（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 李慎重;童科峰;田达晰;蒋玉龙;王震;袁东宁 | 申请（专利权）人 | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海泰能知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王亮;宋缨 |
| 地址 | 315800浙江省宁波市保税东区0125-3地块 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种防止硅片放偏的自动探测控制系统，包括外延机台，外延机台上设置有旋转基座，旋转基座上绕着中心呈环形阵列布置有若干个用于放置硅片的基座槽，旋转基座的上方靠近基座槽中心的位置设置有第二测距传感器，第二测距传感器的一侧靠近基座槽边缘的位置设置有第一测距传感器，第二测距传感器和第一测距传感器均与PLC控制器电性相连，PLC控制器与控制外延机台的EAP控制执行操作系统相连。本实用新型增加硅片装入槽内的自动探测和识别系统，使用PLC采集和输出数据，利用EAP自动控制平台，实现硅片位置偏离检测技术监控和实时反馈，有效防止异常外延片的产生，确保外延片质量稳定可靠。 |
