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一种硅片刷片机

基本信息

申请号 CN201821760012.4 申请日 -
公开（公告）号 CN209183511U 公开（公告）日 2019-07-30
申请公布号 CN209183511U 申请公布日 2019-07-30
分类号 H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 徐继东; 厉惠宏; 胡晓光 申请（专利权）人 浙江金瑞泓科技股份有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所 代理人 宋缨;孙健
地址 315800 浙江省宁波市保税区0125-3地块
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种硅片刷片机，包括料盘升降装置、传送装置和转动装置，所述的工作台上端中部安装有转动装置，该转动装置的前、后方对称布置有传送装置，所述的传送装置靠近转动装置的一侧安装有放置座，该传送装置的另一侧安装有料盘升降装置，所述的放置座与转动装置之间设置有转运装置。本实用新型通过高转速电机控制吸盘转动，升降气缸控制圆盘刷上下升降，旋转气缸控制摆杆轴带着圆盘刷一起转动，自动化程度高，大大降低了人工成本。本实用新型通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤；通过料盘升降装置实现料盘盒的升降，方便将料盘盒中的硅片从下往上依次一个一个送去清洗，自动化程度高，大大降低了人工成本。