一种离子束流调节装置
基本信息
| 申请号 | CN201710408716.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107221485B | 公开（公告）日 | 2019-02-05 |
| 申请公布号 | CN107221485B | 申请公布日 | 2019-02-05 |
| 分类号 | H01J37/141 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱锋 | 申请（专利权）人 | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京金智普华知识产权代理有限公司 | 代理人 | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
| 地址 | 523407 广东省东莞市寮步镇塘唇管理区金富二路华南工业园聚惠E谷 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明主要属于离子束流调节装置技术领域，具体涉及一种离子束流调节装置。包括铁芯、极头、第一线圈和第二线圈，所述铁芯包括上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块，所述上铁芯块和所述下铁芯块的前后两端分别通过前铁芯块和后铁芯块连接，所述上铁芯块、所述下铁芯块、所述前铁芯块和所述后铁芯块的内侧面共同界定形成贯通孔；所述离子束流调节装置还包括依次堆叠套设在所述前铁芯块上的第三线圈和依次堆叠套设在所述后铁芯块上的第四线圈。本发明所述离子束流调节装置不仅能够使束流通过时带状束流的截面形状保持直线形状，而且能够调节束流在高度方向上的均匀性，以满足束流传输和注入的要求。 |
