一种等离子体增强化学气相沉积设备
基本信息
| 申请号 | CN202022079239.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212375378U | 公开（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申请公布号 | CN212375378U | 申请公布日 | 2021-01-19 |
| 分类号 | C23C16/50(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钱锋;姚飞;王小东;廖运华;梁锦东;陈进福 | 申请（专利权）人 | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳国海智峰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
| 地址 | 523000广东省东莞市寮步镇塘唇管理区金富二路51号聚慧e谷高新科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括抽真空机构、反应机构及移送机构，抽真空机构与反应机构相连通，移送机构将待处理产品送入或取出反应机构，反应机构包括反应腔室、电极组件及承载组件，电极组件设置在反应腔室的顶端并在反应腔室的内部移动，承载组件设置在反应腔室的底端并在反应腔室的内部移动，电极组件包括至少一个出气装置，出气装置从上往下依次包括弥散管和弥散球头，弥散管和弥散球头均设有若干个均匀分布的弥散孔。以此可以使镀膜气体从弥散管和弥散球头中全方位发散，确保镀膜气体能均匀地粘附在疫苗瓶内壁，避免疫苗瓶内壁出现镀膜缺陷、不完整的问题，有利于提高疫苗瓶的生产质量。 |
