离子注入跑片装置及离子注入跑片方法
基本信息
| 申请号 | CN201810398127.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108766916A | 公开（公告）日 | 2018-11-06 |
| 申请公布号 | CN108766916A | 申请公布日 | 2018-11-06 |
| 分类号 | H01L21/677;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱锋;宋银海;贾银海;姚飞;宋经纬;廖运华 | 申请（专利权）人 | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 东莞帕萨电子装备有限公司;苏州帕萨电子装备有限公司 |
| 地址 | 523411 广东省东莞市寮步镇塘唇管理区金富二路聚慧e谷高新科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了离子注入跑片装置及离子注入跑片方法。该离子注入跑片装置包括水平进出传送区、垂直输送缓冲区、单个水平传送区及垂直输送储存区。离子注入跑片方法包括如下步骤：将硅片置于拖盘上隔板的下方，其中一排离子注入孔正对硅片的第一位置；将托盘运送至一真空腔中，在真空腔中运送托盘至第一离子处；将第一离子通过隔板的第一排离子注入孔注入至硅片的第一位置；隔板相对所述托盘移动位置，以使第二排离子注入孔正对硅片的第二位置；将第二离子通过隔板的第二排离子注入孔注入至硅片的第二位置；将托盘移出所述真空腔。本发明所述离子注入跑片装置，离子注入方便、快速、成本低、制作的硅片质量好。 |
