离子注入跑片装置
基本信息
| 申请号 | CN201820639703.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208157383U | 公开（公告）日 | 2018-11-27 |
| 申请公布号 | CN208157383U | 申请公布日 | 2018-11-27 |
| 分类号 | H01L21/677;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱锋;宋银海;贾银海;姚飞;宋经纬;廖运华 | 申请（专利权）人 | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
| 地址 | 523411 广东省东莞市寮步镇塘唇管理区金富二路聚慧e谷高新科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了离子注入跑片装置。该离子注入跑片装置包括水平进出传送区，用于水平运送装载硅片的托盘；垂直输送缓冲区，连通水平进出传送区，用于垂直向上或向下运送托盘；单个水平传送区，用于先后运送多个托盘，单个水平传送区依次具有第一离子注入工位、切换硅片位置工位及第二离子注入工位，第一离子注入工位用于在硅片的第一位置注入第一离子，切换硅片位置工位用于对应硅片的第二位置，第二离子注入工位用于在硅片的第二位置注入第二离子；及垂直输送储存区，用于垂直向上或向下运送托盘。本实用新型所述离子注入跑片装置，离子注入方便、快速、成本低、制作的硅片质量好。 |
