高温化学气相沉积设备及其加热系统
基本信息
| 申请号 | CN201510324880.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104962881B | 公开（公告）日 | 2018-08-03 |
| 申请公布号 | CN104962881B | 申请公布日 | 2018-08-03 |
| 分类号 | C23C16/46 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 胡国新;胡强;冉军学;梁勇;段瑞飞;王军喜;李晋闽;曾一平 | 申请（专利权）人 | 新泰中科优唯电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 北京中科优唯科技有限公司;山西中科潞安紫外光电科技有限公司 |
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区经海五路58号院5号楼7层708室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高温化学气相沉积设备及其加热系统，所述用于高温化学气相沉积设备的加热系统包括发热体，支撑在所述加热体下部的发热体支撑部件，与所述发热体支撑部件连接的陶瓷绝缘件，设置在所述陶瓷绝缘件上部的热辐射防护件，以及设置在所述陶瓷绝缘部件底部的隔热部件。本发明提供的用于高温化学气相沉积设备的加热系统，可以起到支撑、绝缘、辐射防护及保持温度的作用，特别是对高温化学气相沉积设备的有效使用起到了完好的防护作用。 |
