一种感温芯片用的浮动载盘机构

基本信息

申请号 CN202022542217.9 申请日 -
公开(公告)号 CN213583721U 公开(公告)日 2021-06-29
申请公布号 CN213583721U 申请公布日 2021-06-29
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李辉;王体;李俊强 申请(专利权)人 深圳市诺泰芯装备有限公司
代理机构 深圳市中联专利代理有限公司 代理人 李俊
地址 518000广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种感温芯片用的浮动载盘机构,包括浮动连接板,所述浮动连接板左侧开设有连接板定位孔,所述连接板定位孔上端设置有下限位挡板,所述下限位挡板中部套接有浮动定位导杆,所述浮动定位导杆上端设置有上限位挡板,所述上限位挡板顶部设置有紧固螺丝,所述传动杆定位孔上部设置有传动定位导杆,所述浮动连接板右端下部设置有芯片载盘,所述芯片载盘中部设置有芯片定位倒模,所述的芯片载盘采用了超导热陶瓷材料,不仅耐磨损,而且还能在高温或低温环境下使用,本专利中的芯片浮动载盘机构,并且可以挂靠电机运转盘进行托运,使芯片产品可以快速的转移到不同的生产工序,提高了生产效率。