一种感温芯片用的浮动载盘机构
基本信息
申请号 | CN202022542217.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213583721U | 公开(公告)日 | 2021-06-29 |
申请公布号 | CN213583721U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 李辉;王体;李俊强 | 申请(专利权)人 | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
代理机构 | 深圳市中联专利代理有限公司 | 代理人 | 李俊 |
地址 | 518000广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种感温芯片用的浮动载盘机构,包括浮动连接板,所述浮动连接板左侧开设有连接板定位孔,所述连接板定位孔上端设置有下限位挡板,所述下限位挡板中部套接有浮动定位导杆,所述浮动定位导杆上端设置有上限位挡板,所述上限位挡板顶部设置有紧固螺丝,所述传动杆定位孔上部设置有传动定位导杆,所述浮动连接板右端下部设置有芯片载盘,所述芯片载盘中部设置有芯片定位倒模,所述的芯片载盘采用了超导热陶瓷材料,不仅耐磨损,而且还能在高温或低温环境下使用,本专利中的芯片浮动载盘机构,并且可以挂靠电机运转盘进行托运,使芯片产品可以快速的转移到不同的生产工序,提高了生产效率。 |
