一种晶圆盘自动上料及扩膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202110871961.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113510610A | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN113510610A | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | B24B37/00（2012.01）I;B24B37/27（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 李辉;王体 | 申请（专利权）人 | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
| 代理机构 | 南京新众合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 彭雄 |
| 地址 | 518100广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆盘自动上料及扩膜设备。包括晶圆盘提篮装置、提篮升降台机构、夹爪运动机构工作、晶圆夹爪机构、晶圆扩模工作台、XY轴直线模组，本发明可以使半导体器件生产制程中晶圆蓝膜盘的快捷批量化生产，代替人工作业方式，具有高效高质量性能稳定，减少了中间扩膜机设备，减少人工操作及生产管理成本，产品质量不会随人为因素而变化导致质量不稳定，同时方便快捷生产作业，便于对晶圆产品储放以及方便使用，有利于对晶圆产品的环境保护，有效晶圆脏污等品质问题，生产效率高，产品质量稳定。 |
