一种弧形隧道加热装置
基本信息
| 申请号 | CN202022542216.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213880296U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213880296U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | H05B3/06（2006.01）I;H05B3/22（2006.01）I;H05B1/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 李辉;王体;李俊强 | 申请（专利权）人 | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中联专利代理有限公司 | 代理人 | 李俊 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种弧形隧道加热装置，包括上部隔热板，所述上部隔热板固定于整个装置顶部，所述上部隔热板下端设置有隧道加热机构，所述隧道加热机构包括上加热板、下加热板、热电隅、电热丝、引线和加热腔体，所述上加热板下端内侧和下加热板上端内侧均开设有安装槽，所述安装槽内部固定连接有电热丝，所述隧道加热机构下端焊接有下部隔热板。本实用新型是由上下两块弧形加热板构成的，每块加热板均匀的分布了加热丝，形成了一个槽型加热腔体，配合上下检测温度的热电隅，以及温度控制系统，能够实现温度均匀性良好，温度误差小，恒温效率高等优点，方便生产中产品与载盘快速的更换流动，从而提高芯片产品生产效率。 |
