一种芯片载盘拖动机构
基本信息
| 申请号 | CN202022543756.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213583722U | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN213583722U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王体;李辉;李俊强 | 申请（专利权）人 | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中联专利代理有限公司 | 代理人 | 李俊 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片载盘拖动机构，包括电机安装底座、DD直驱电机、传动盘和浮动载盘组件，所述DD直驱电机螺栓连接在电机安装底座的上端，所述DD直驱电机的输出端与传动盘传动连接，所述传动盘的上端表面设置有浮动载盘组件，所述浮动载盘组件包括连接板、载盘、插销、螺栓、弹簧、垫片和连接孔，所述连接板的一端通过插销与载盘固定连接，所述连接板的另一端插接有螺栓，所述螺栓的底端位于连接板表面设置有垫片，所述垫片上表面设置有弹簧。本实用新型在传动盘上表面设置若干个浮动载盘积分，将单个芯片安放在浮动载盘组件上端，代替了传统的堆叠式，能够有效的减少中转次数，大大节省人力，提高了生产效率。 |
