一种海水温度和压力集成的片式传感器芯片
基本信息
申请号 | CN201710886925.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN107655614B | 公开(公告)日 | 2019-09-17 |
申请公布号 | CN107655614B | 申请公布日 | 2019-09-17 |
分类号 | G01L9/12(2006.01)I; G01L19/00(2006.01)I; G01K7/22(2006.01)I; G01D21/02(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 张洪泉; 刘秀杰; 张凯; 姜宗泽 | 申请(专利权)人 | 上海航士海洋科技有限公司 |
代理机构 | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 哈尔滨航士科技发展有限公司; 哈尔滨工程大学; 上海航士海洋科技有限公司; 北京航士科技发展有限公司 |
地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区科技创新城创新创业广场6号楼(巨宝一路668号)1单元301-1室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种海水温度和压力集成的片式传感器芯片,包括压力陶瓷基片;压力陶瓷基片的一面上印刷有感压电极图形,温度陶瓷基片的一面上印刷有热敏电阻图形,感压电极图形和热敏电阻图形上分别设置有两组引线接点;压力陶瓷基片上的感压电极图形外围设置有圆形玻璃烧结料环,圆形玻璃烧结料环与玻璃环连接,玻璃环还与衬底陶瓷基片连接,衬底陶瓷基片与温度陶瓷基片印有热敏电阻图形的一面连接;本发明传感器芯片结构紧凑,小型便携,灵敏精确,将温度和压力传感器集成在一起,能同时测量两个参数并降低生产成本,在海水中下潜速度快,测量效率高。 |
