一种纳米管材料的气体传感器的制备方法及气体传感器
基本信息
| 申请号 | CN201710881284.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107677704B | 公开（公告）日 | 2020-01-21 |
| 申请公布号 | CN107677704B | 申请公布日 | 2020-01-21 |
| 分类号 | G01N27/00;B82Y15/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张洪泉;沈冰;张凯;姜宗泽;刘秀杰 | 申请（专利权）人 | 上海航士海洋科技有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 哈尔滨工程大学;上海航士海洋科技有限公司;哈尔滨航士科技发展有限公司 |
| 地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种纳米管材料的气体传感器的制备方法及气体传感器，属于传感器技术领域。气体传感器的敏感元件和补偿元件均包括Al2O3载体、贵金属修饰γ‑Al2O3纳米管阵列；Al2O3载体上设置有敏感电极，敏感电极通过电极焊盘焊接有金属引线，贵金属修饰γ‑Al2O3纳米管阵列位于Al2O3载体的底面上。方法：利用原位生长的Al2O3膜状陶瓷材料做为传感器载体材料，通过微加工技术形成传感器微结构载体，在Al2O3膜状材料的孔洞内修饰γ‑Al2O3和贵金属催化剂后，形成敏感性纳米管阵列敏感芯体，在芯体表面沉积铂膜，光刻和刻蚀后形成敏感电极。该传感器芯体在高温条件下可实现对不同种类的易燃易爆气体进行浓度检测。 |
