一种检测海水盐度与温度集成传感器芯片及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201711001450.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107576690B | 公开（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申请公布号 | CN107576690B | 申请公布日 | 2020-12-04 |
| 分类号 | G01N27/07;G01K7/16 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张洪泉;刘秀杰;张凯;沈冰;姜宗泽 | 申请（专利权）人 | 上海航士海洋科技有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 哈尔滨航士科技发展有限公司;上海航士海洋科技有限公司;哈尔滨工程大学 |
| 地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于传感器技术领域，尤其涉及一种检测海水盐度与温度集成集成传感器芯片，包括盐度检测电极、温度检测电极、玄武岩玻璃基片，玄武岩玻璃基片的第一个表面上设置有六个盐度检测电极，盐度检测电极外部设置有第一厚膜包封层，厚膜包封层在盐度检测电极处留有开口，玄武岩玻璃基片的第二个表面上设置有三个温度检测电极，温度检测电极外侧设置有第二厚膜包封层，解决现有传感器基片容易受到海水腐蚀，检测时存在误差的问题，实现海水盐度和温度的同步测量，对海水盐度检测结果进行实时的温度补偿，同时具有多种工作模式，可以检测出损坏或者精度差的电极，提高精度。 |
