一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件
基本信息
| 申请号 | CN201922183477.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211502324U | 公开（公告）日 | 2020-09-15 |
| 申请公布号 | CN211502324U | 申请公布日 | 2020-09-15 |
| 分类号 | F17C13/04(2006.01)I;F17C5/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李慎重;蒋玉龙;王震;陈华;田达晰;张银光;邓伟;马向阳;杨德仁 | 申请（专利权）人 | 金瑞泓微电子（衢州）有限公司 |
| 代理机构 | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人 | 王亮 |
| 地址 | 324000浙江省衢州市绿色产业集聚区盘龙南路52号9幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件，包括与氢气输入端相连的进气阀，所述的进气阀同时连接静态气路和载气气路，所述的静态气路上设置有静态手动阀、静态常开气动阀和静态调压阀，所述的载气气路上设置有常闭气动阀和载气调压阀，所述的静态气路和载气气路同时通入到气源钢瓶中。本实用新型通过设置两个气路，实现动态和静态压力的自动切换，保持动态和静态压力为同一数值，从而达到硅源浓度稳定的目的。 |
