一种镀膜用冷却设备、镀膜设备及卷对卷薄膜

基本信息

申请号 CN202021334684.6 申请日 -
公开(公告)号 CN213357736U 公开(公告)日 2021-06-04
申请公布号 CN213357736U 申请公布日 2021-06-04
分类号 C23C14/56;C23C14/54;C23C14/35 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 张玉春;仲树栋 申请(专利权)人 北京载诚科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100094 北京市海淀区翠湖南环路13号院1号楼5层501室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请实施例公开了一种镀膜用冷却设备、镀膜设备及卷对卷薄膜,其中镀膜用冷却设备包括具有冷却气体入口且设于工艺鼓内的至少一个气体循环管路;至少一部分所述气体循环管路嵌入所述工艺鼓内壁且延伸出出口朝向所述工艺鼓外壁上设置的耐磨透气层的至少两个支路,以便对所述耐磨透气层外的柔性基材进行冷却。本申请通过设置采用气体冷却的镀膜用冷却设备,利用气体的快速冷却特点,保证了二次镀膜过程中热量的快速释放,使得两次镀膜过程可以采用相同的速度,进而避免了因速度不同导致膜外观出现MD纹路,两面膜外观不一致的问题。