一种吸附式芯片转移装置及芯片返修设备
基本信息
| 申请号 | CN202110685825.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113363195A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113363195A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;B23K1/018（2006.01）I;B23K3/04（2006.01）I;B23K3/08（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈魏;潘兵 | 申请（专利权）人 | 快克智能装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州昱呈专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 雷仕荣 |
| 地址 | 213000江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路11号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种吸附式芯片转移装置，其包括基板、滑板、驱动组件、活动座、吸杆、吸咀及弹性件，滑板沿纵向可滑动地设于基板上，驱动组件驱动滑板移动，活动座沿纵向可滑动地设于滑板上，吸杆安装在活动座上，吸杆与真空发生器连接，吸咀连接在吸杆的下端，弹性件沿活动座的滑动方向可伸缩地设于滑板与活动座之间，活动座搭抵在弹性件的上端，从而使得活动座悬浮在滑板上。本发明的吸附式芯片转移装置，吸附芯片时对芯片起到了缓冲作用，有效克服了吸取芯片过程中，芯片因受到过大压力而发生损坏的情况，实现了芯片的无损转移。本发明还公开了一种带有该吸附式芯片转移装置的芯片返修设备。 |
