一种激光加热装置
基本信息
| 申请号 | CN202121428615.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216361912U | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN216361912U | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李金;李伟成;胥涛棚;刘栋;董昱君;张雷 | 申请（专利权）人 | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215399江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路111号华平（昆山）智造园B-6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种激光加热装置，包括光源组件、扩束装置、扇形光形成装置，所述光源组件发出光束，经所述扩束镜头和所述扇形光形成装置形成条形光斑，覆盖曝光镜头的投影区域。精准的对投影区域进行加热。 |
