一种内层板曝光机及其标记方法
基本信息
| 申请号 | CN201911236436.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111221223B | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN111221223B | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘栋;张雷 | 申请（专利权）人 | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215339江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路111号华平（昆山）智造园B-6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种内层板曝光机及其标定方法，所述内层板曝光机包括运动平台、对位机构和曝光机构，所述对位机构和曝光机构置于所述运动平台的上方，所述运动平台包括运动机构和基板台面，其还包括标记机构，所述标记机构包括设置于所述基板台面一侧边缘左右对称的多个标记装置和控制所述标记装置的标记控制装置，所述标记控制装置根据所述内层板的大小控制所述标记装置位置的选择。通过标记机构的设计，在对内层板进行背面曝光时，有效的区分同时曝光的两个内层板，提高对位精度。 |
