一种背面对准装置
基本信息
| 申请号 | CN202120508808.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214751321U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214751321U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘栋;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人 | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215399江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路111号华平（昆山）智造园B-6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于直写式光刻设备确定基底精确位置的背面对准装置，该光刻设备的运动载台装置包括装载部和设置于装载部下方的多轴运动台，装载部与多轴运动台之间有间隙；基底放置于装载部上，其背面设置有背面对准标记，装载部上对应于基底的背面对准标记设有透光孔；背面对准装置具体包括成像部、照明部、光路转折部和镜筒，成像部、照明部和光路转折部通过镜筒连接；光路转折部位于透光孔下方，镜筒部分位于间隙。通过使用镜筒将背面对准装置部分设于装载部与多轴运动台之间的间隙，便于安装拆卸。 |
