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一种电子级超纯二氧化碳的生产方法及其产品

基本信息

申请号 CN201811526828.5 申请日 -
公开（公告）号 CN109336113A 公开（公告）日 2019-02-15
申请公布号 CN109336113A 申请公布日 2019-02-15
分类号 C01B32/50 分类 无机化学;
发明人 周大荣;俞健;陈志诚 申请（专利权）人 上海启元气体发展有限公司
代理机构 上海申新律师事务所 代理人 上海启元空分技术发展股份有限公司
地址 201800 上海市嘉定区和裕路150号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于气体生产领域，特别涉及一种电子级超纯二氧化碳的生产方法，还涉及通过该生产方法制得的电子级超纯二氧化碳产品。该生产方法由液体二氧化碳汽化、加热、脱硫、催化转化、吸附干燥、制冷、提纯等操作单元组成，用于提纯工业级或食品级二氧化碳至电子级超纯二氧化碳。该电子级超纯二氧化碳的生产方法适于大规模工业化生产，安全可靠；并且，依据该生产方法制得的电子级超纯二氧化碳产品中CO2的纯度高达99.9995％以上，因此，满足精密电子工业等领域的苛刻标准与大规模需求。总之，本发明所提供的电子级超纯二氧化碳的生产方法及其产品可得到广泛应用，具有良好的市场前景。