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一种基于激光位移传感器的微结构体二维检测方法及装置

基本信息

申请号 CN201910890649.8 申请日 -
公开（公告）号 CN110514123B 公开（公告）日 2021-04-02
申请公布号 CN110514123B 申请公布日 2021-04-02
分类号 G01B11/02(2006.01)I;G01B11/16(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 黄勇;陶勇;张冠斌;宋驰骋;李旭东;李若然 申请（专利权）人 成都博奥晶芯生物科技有限公司
代理机构 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 代理人 管高峰
地址 611135四川省成都市温江区永宁镇八一路北段88号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于激光位移传感器的微结构体二维检测方法及装置，所述检测方法包括如下步骤：S1，设置激光位移传感器垂直于微结构体上设有反应池的端面；S2，将激光位移传感器沿着微结构体的各个反应池在微结构体上的径向和圆周方向移动，测得若干数据；S3，利用测得的若干数据计算每个反应池在微结构体上的径向和圆周方向上的平均值和变异系数，基于计算得到的平均值和变异系数判断微结构体是否弯曲变形。本发明通过采用激光位移传感器，测量数据更加准确、可靠，测量精度更高，更具实用性；并采用二维检测方法，由此分析测量对象，使得测量结果更加具有说服力，真实反映出微结构体各个反应池是否发生弯曲变形。