一种分子泵

基本信息

申请号 CN202010021459.5 申请日 -
公开(公告)号 CN111237210A 公开(公告)日 2020-06-05
申请公布号 CN111237210A 申请公布日 2020-06-05
分类号 F04D19/04(2006.01)I 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 董欣;郁晋军;刘敏强 申请(专利权)人 北京四海祥云流体科技有限公司
代理机构 北京天驰君泰律师事务所 代理人 北京四海祥云流体科技有限公司
地址 101111北京市通州区兴光四街1号院7号楼1层01-135
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种分子泵及其牵引级;其中分子泵包括:底座;泵体,其设置在所述底座上,所述泵体与所述底座形成一个腔体;动力装置,其设置在所述底座和泵体形成的腔体内;转子,其连接至所述动力装置,所述转子包括涡轮级转子和第一牵引级转子,所述涡轮级转子与所述第一牵引级转子之间包括多个第一导流结构,所述多个第一导流结构定义连通所述第一牵引级转子的内侧气道和外侧气道的多个通道并可以对气体分子导流压缩;以及牵引级定子,其包括外定子和内定子,所述第一牵引级转子位于所述外定子和所述第一内定子之间,所述内定子与所述第一牵引级转子相对的表面设置第一导流槽。本发明的分子泵提供更大的导流空间和更高的工作效率。