晶体管栅氧测试装置及系统

基本信息

申请号 CN202110707621.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113253088B 公开(公告)日 2021-09-28
申请公布号 CN113253088B 申请公布日 2021-09-28
分类号 G01R31/26 分类 测量;测试;
发明人 王振业;叶忠 申请(专利权)人 上海瞻芯电子科技有限公司
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘新宇
地址 201306 上海市浦东新区南汇新城镇海洋一路333号8号楼3楼
法律状态 -

摘要

摘要 本公开涉及一种晶体管栅氧测试装置及系统,所述装置包括:驱动电压产生模块,用于产生驱动信号;漏电流检测模块,用于检测栅极漏电流,得到检测电压信号,并与预设电压信号进行比较,得到比较结果;控制模块,连接于所述驱动电压产生模块及所述漏电流检测模块,用于根据所述比较结果确定所述待测晶体管的寿命信息。本公开实施例通过在驱动信号中携带第一驱动信号,可以模拟待测晶体管在实际应用中产生的驱动电压尖峰,以完成驱动电压尖峰对待测晶体管栅氧寿命影响的测试,具有高准确度、高效率的特点,且可以对高速、高功率开关进行测试,具有较高的适用性。