气压式芯片拾取装置

基本信息

申请号 CN202210249340.2 申请日 -
公开(公告)号 CN114599209A 公开(公告)日 2022-06-07
申请公布号 CN114599209A 申请公布日 2022-06-07
分类号 H05K7/20(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 沈会强;郝术壮;刘子阳;张克佳 申请(专利权)人 唐人制造(嘉善)有限公司
代理机构 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 314199浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路99号3号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种气压式芯片拾取装置,该装置包括:内轴和取压头;所述内轴的一端与取压头连接,所述内轴用于带动所述取压头移动;所述内轴内开设有第一通风道,所述第一通风道的一端与所述取压头连通,所述第一通风道用于对取压头进行通风散热。本发明能够保证内轴的精度。