一种载板回转移动装置
基本信息
| 申请号 | CN202210181167.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114420614A | 公开（公告）日 | 2022-04-29 |
| 申请公布号 | CN114420614A | 申请公布日 | 2022-04-29 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘翠翠;代和松 | 申请（专利权）人 | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 南昌贤达专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张雪娟 |
| 地址 | 332020江西省九江市共青城市高新区科技创新园内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种载板回转移动装置，涉及硅片生产设备技术领域，包括基座、移动框架、回转框架和载板，移动框架沿水平方向左右滑动设置在基座上，移动框架上设置有回转驱动齿轮、从动内齿轮及旋转电机，回转驱动齿轮与从动内齿轮啮合而能带动从动内齿轮沿水平方向旋转，回转框架设置在从动内齿轮上而能随从动内齿轮同步旋转，移动框架上设置有夹紧装置以对回转框架进行夹紧，限制回转框架旋转，回转框架上设置有导轨，载板沿水平方向前后滑动设置在导轨上。本发明的有益效果是载板既能沿水平方向左右、前后移动，也能够沿水平方向旋转180°，使两块载板都能以相同的朝向与自动化设备对接，方便地对接自动化产线或镀膜设备腔体的载板导轨。 |
