一种平铺式升降回流精准定位输送装置

基本信息

申请号 CN202210158259.3 申请日 -
公开(公告)号 CN114476487A 公开(公告)日 2022-05-13
申请公布号 CN114476487A 申请公布日 2022-05-13
分类号 B65G13/07(2006.01)I;B65G41/00(2006.01)I;B65G47/22(2006.01)I;B08B5/04(2006.01)I;B65G43/00(2006.01)I;B65G47/88(2006.01)I;B65G37/00(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 刘翠翠;余杰 申请(专利权)人 江西汉可泛半导体技术有限公司
代理机构 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 332020江西省九江市共青城市高新区科技创新园内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种平铺式升降回流精准定位输送装置,包括:若干个彼此对接的输送机构,用于输送载板,且能同时将上下载板沿不同方向输送;若干个箱体,其两端开口且相通,箱体设置在输送机构上;若干个定位装置,设置在输送机构,定位装置用于对输送过程中停下的载板位置进行矫正;两个升降输送机构,升降输送机构用于承接输送机构输送过来的载板,并使载板沿反方向输送到输送机构上;除尘装置。本发明中,整条输送线采用全自动化,并不需人工参与,生产效率和稳定性差高;整条输线除和下道工序对接处外,其余部分采用钣金或透明有机玻璃封闭,同时除尘装置对载板进行除尘处理,防止周围环境或者交叉落灰对硅片及载板的污染。