一种量产型立式CVD上下片集成自动化生产线专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种量产型立式CVD上下片集成自动化生产线

基本信息

申请号	CN202210157306.2	申请日	-
公开（公告）号	CN114551312A	公开（公告）日	2022-05-27
申请公布号	CN114551312A	申请公布日	2022-05-27
分类号	H01L21/677（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	刘翠翠;王祥远	申请（专利权）人	江西汉可泛半导体技术有限公司
代理机构	南昌贤达专利代理事务所（普通合伙）	代理人	-
地址	332020江西省九江市共青城市高新区科技创新园内
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种量产型立式CVD上下片集成自动化生产线，包括：硅片自动化上料区、小载板自动化上料输送回转区、大载板自动化上料区、大载板自动化上料回转区、大载板自动化下料区、大载板自动化下料回转区、小载板自动化下料输送回转区和硅片自动化下料区，硅片自动化上料区、大载板自动化上料区和大载板自动化输送回转区设置在小载板自动化上料输送回转区一侧，大载板自动化下料区、大载板自动化下料回转区和硅片自动化下料区设置在小载板自动化下料输送回转区一侧。本发明中，生产线划分不同的区域，使杂乱的生产现场规划的整洁美观，且可以节约生产线占用的空间；大幅提高了生产效率，降低了劳动强度，减少了人工的投入；整个生产线布局合理。