一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备的载板凹槽

基本信息

申请号 CN202122483484.8 申请日 -
公开(公告)号 CN216054753U 公开(公告)日 2022-03-15
申请公布号 CN216054753U 申请公布日 2022-03-15
分类号 H01L31/20(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘翠翠 申请(专利权)人 江西汉可泛半导体技术有限公司
代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 代理人 王焕巧
地址 332020江西省九江市共青城市高新区科技创新园内
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备的载板凹槽,包括梯形放置槽,所述梯形放置槽的内部两侧分别设有第一夹片以及第二夹片,所述梯形放置槽的内部两侧还设有连接组件,且第一夹片以及第二夹片均与梯形放置槽通过连接组件连接;连接组件包括第一滑杆,所述第一滑杆设置在第一夹片以及第二夹片一端相远离的一侧。本实用新型通过第一滑杆配合第一弹簧使第一夹片以及第二夹片的端部夹紧硅片,第二滑杆配合第二弹簧使第一夹片以及第二夹片的中部夹紧硅片,从而加固硅片,防止硅片从梯形放置槽中掉落,该载板凹槽便于硅片的放入,且硅片放入后具有加固处理,不仅有效地避免硅片边角被压碎,而且提高了太阳电池的加工效率。