一种自动化上料电池片到大载板的缓存系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202210207561.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114664713A | 公开（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申请公布号 | CN114664713A | 申请公布日 | 2022-06-24 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L31/20（2006.01）I;C23C16/24（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘翠翠;王祥远 | 申请（专利权）人 | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 南昌贤达专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 332020江西省九江市共青城市高新区科技创新园内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种自动化上料电池片到大载板的缓存系统及方法，涉及硅片生产设备技术领域，包括缓存换面中转台及配置在缓存换面中转台一侧的抓取装置、大载板和小载板；缓存换面中转台、大载板和小载板上均具有用于装载硅片的放置槽；抓取装置能够抓取大载板上的硅片并转移至缓存换面中转台上，还能够抓取小载板上的硅片并转移至大载板上。本发明的有益效果是通过增加缓存换面中转台能够缓存硅片而能够让抓取装置进行下一个动作，并通过抓取装置从上方将硅片放置在缓存换面中转台下，通过另一抓取装置从缓存换面中转台的下方抓取硅片，即可完成硅片翻面，本发明中的系统模块化设计制造，占地空间小，结构简单，使用方便。 |
