一种水平式多硅片中转机构
基本信息
| 申请号 | CN202210207387.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114551314A | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN114551314A | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘翠翠;徐亮 | 申请（专利权）人 | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 南昌贤达专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 332020江西省九江市共青城市高新区科技创新园内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种水平式多硅片中转机构，包括：型材架；放置板，其上设置有若干个通槽；若干个夹持机构，其包括两个固定板、两个驱动装置和若干个夹杆，夹杆上设置有卡槽，每两个夹杆为一组设置在固定板上且该两个夹杆上的卡槽互相垂直，驱动装置倾斜一定角度的设置在放置板上用于驱动固定板移动。本发明采用模拟人的手指方式固定硅片的四个边角，以达到夹住的目的，同时对硅片进行校正动作，且在与硅片接触时，最大限度的减少对硅片的磨损，使抓取时对硅片不造成污染，减少不良率；一个驱动装置可以同时定位两个夹杆方向的位置，解决了空间受限问题，可实现一次性水平放置多片，且能同时满上下两面进行取放，提高转运效率和灵活性。 |
