一种用于光刻机的紫外镜头
基本信息
| 申请号 | CN201721163819.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207232486U | 公开（公告）日 | 2018-04-13 |
| 申请公布号 | CN207232486U | 申请公布日 | 2018-04-13 |
| 分类号 | G02B7/02;G03F7/20 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 钱绍生;杨存波;余永泰;杨勇刚;李云青 | 申请（专利权）人 | 云南云光发展有限公司 |
| 代理机构 | 昆明今威专利商标代理有限公司 | 代理人 | 邵会昌;赵云 |
| 地址 | 650114 云南省昆明市海口镇云南云光发展有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于光刻机的紫外镜头，主要用于用于光刻机进行光刻时的紫外镜头。其主要技术方案：在外镜筒内，依次同轴安装第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜；将第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜，依次同轴组装在内筒内构成一个中心组；中心组再与外镜筒内的透镜同轴安装；最后在外镜筒的左端，与其它透镜同轴，依次安装第九透镜、第十透镜。本实用新型通过试用证明：从根本上克服了原紫外镜头组畸变大、分辨率低的现象，达到了的所刻制的刻线精度符合技术指标，满足各类产品的需求。 |
