感光膜清洗液
基本信息
| 申请号 | CN201310508167.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103616806B | 公开（公告）日 | 2017-02-08 |
| 申请公布号 | CN103616806B | 申请公布日 | 2017-02-08 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 孙霞 | 申请（专利权）人 | 珠海特普力高精细化工有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 马佳;珠海特普力高精细化工有限公司 |
| 地址 | 266000 山东省青岛市市北区敦化路53号2号楼2单元401室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种新型的感光膜清洗液，其包括季戊四醇、氢氧化钾、有机胺、防腐蚀剂和溶剂。本发明提供的感光膜清洗剂感光膜清洗能力强且对半导体晶片图案和基材腐蚀性较低。 |
