一种衰减器加工方法
基本信息
| 申请号 | CN202011638107.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112853311A | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN112853311A | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | C23C16/04(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张志强;耿复;高志强;马天军;张欣玲;王书峰;褚立人 | 申请（专利权）人 | 山东微波电真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 济南千慧专利事务所（普通合伙企业） | 代理人 | 左建华 |
| 地址 | 250000山东省济南市历城区王舍人街道工业北路矿源路9号15号楼1楼101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及行波管领域，特别涉及一种衰减器加工方法，提供具有真空腔的模具；确定所述夹持杆的衰减器设置区域，将夹持杆置于所述模具；对所述真空腔抽负压，所述真空腔的压力大于或等于5×10‑5Pa；向所述真空腔通入C7H16；所述模具加热至N℃，750≤N≤850；冷却所述夹持杆。本发明的加工方法，可以使得夹持杆一体的形成衰减器，易于对衰减器进行组装和加工。而且，衰减器设置区域处吸附的碳层均匀，具有较好的衰减效果，有效的解决了现有技术中存在的问题。 |
