一种压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201822109514.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208998970U | 公开（公告）日 | 2019-06-18 |
| 申请公布号 | CN208998970U | 申请公布日 | 2019-06-18 |
| 分类号 | G01L1/18（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 缪建民; 曹峰 | 申请（专利权）人 | 华景传感科技（无锡）有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 华景传感科技（无锡）有限公司 |
| 地址 | 214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种压力传感器。该压力传感器包括：衬底；设置于所述衬底表面的单晶硅层；以及设置于所述单晶硅层表面的压感电阻、加热单元、测温单元和控制单元，所述控制单元分别与所述加热单元和所述测温单元电连接；所述加热单元设置于所述压感电阻周边。本实用新型实施例的方案提高了压力传感器的压力检测精度，降低了生产成本。 |
