一种重力传感器
基本信息
申请号 | CN202022101079.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212623135U | 公开(公告)日 | 2021-02-26 |
申请公布号 | CN212623135U | 申请公布日 | 2021-02-26 |
分类号 | G01V7/00(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 缪建民;尹长通;潘孝江 | 申请(专利权)人 | 华景传感科技(无锡)有限公司 |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
地址 | 214135江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F2 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种重力传感器,该重力传感器包括:下盖板,下盖板的第一表面设置有第一凹槽,第一凹槽的深度小于下盖板的厚度;微机电微机电压力检测模块,位于第一凹槽内;上盖板,覆盖下盖板且包围下盖板的侧面,其中,上盖板包括一体成型的重力形变部以及包围重力形变部的连接部,重力形变部和下盖板的第一表面围成密闭腔体,连接部包围下盖板的侧面,密闭腔体在下盖板的投影覆盖微机电压力检测模块在下盖板的投影;形变传递层,形变传递层位于密闭腔体内,用于将重力形变部产生的形变传递给微机电压力检测模块。本实用新型实施例提供的技术方案,采用了微机电微机电压力检测模块,有效减小了重力传感器的尺寸。 |
