一种压力模块

基本信息

申请号 CN202022500910.X 申请日 -
公开(公告)号 CN213679812U 公开(公告)日 2021-07-13
申请公布号 CN213679812U 申请公布日 2021-07-13
分类号 B81B7/02(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 缪建民;潘孝江;尹长通 申请(专利权)人 华景传感科技(无锡)有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 214135江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F2
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型实施例公开了一种压力模块。该压力模块包括:线路基板、MEMS芯片、ASIC芯片、第一封装电路板、灌封胶、第二封装电路板。本实用新型提供的技术方案,将MEMS芯片和ASIC芯片融合在一起设置于线路基板、第一封装电路板与第二封装电路板构成的腔体内,并采用灌封胶填充,实现芯片密封不泄露的目的,并且可以确保在大压力下,MEMS芯片和ASIC芯片无损坏且键合处不脱落,提高整个结构紧凑性,另外,MEMS芯片和ASIC芯片只做感压元件,提高了产品的可靠性和稳定性,降低了压力模块的成本和可制造装配成本,实现大规模自动化生产。