一种重力传感器
基本信息
| 申请号 | CN202011004739.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111965722A | 公开（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申请公布号 | CN111965722A | 申请公布日 | 2020-11-20 |
| 分类号 | G01V7/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 缪建民;尹长通;潘孝江 | 申请（专利权）人 | 华景传感科技（无锡）有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 华景传感科技（无锡）有限公司 |
| 地址 | 214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种重力传感器，该重力传感器包括：下盖板，下盖板的第一表面设置有第一凹槽，第一凹槽的深度小于下盖板的厚度；微机电微机电压力检测模块，位于第一凹槽内；上盖板，覆盖下盖板且包围下盖板的侧面，其中，上盖板包括一体成型的重力形变部以及包围重力形变部的连接部，重力形变部和下盖板的第一表面围成密闭腔体，连接部包围下盖板的侧面，密闭腔体在下盖板的投影覆盖微机电压力检测模块在下盖板的投影；形变传递层，形变传递层位于密闭腔体内，用于将重力形变部产生的形变传递给微机电压力检测模块。本发明实施例提供的技术方案，采用了微机电微机电压力检测模块，有效减小了重力传感器的尺寸。 |
