一种氢等离子法合成硅烷的方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201710767288.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107311183A | 公开（公告）日 | 2017-11-03 |
| 申请公布号 | CN107311183A | 申请公布日 | 2017-11-03 |
| 分类号 | C01B33/04(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 许文;吴延炜 | 申请（专利权）人 | 惟盈投资管理有限公司 |
| 代理机构 | 成都众恒智合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王育信 |
| 地址 | 610000 四川省成都市武侯区人民南路四段28号22栋1单元10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种氢等离子法合成硅烷的方法，该采用氢等离子发生器将硅粉离子化，离子化后的氢与硅反应生成硅烷，在将硅烷和氢气混合气急冷后引入混合气分离系统，从而得到硅烷，而分离后的氢气循环使用。该方法采用了成熟的氢等离子技术、急冷技术和硅烷与氢分离技术，具有工艺流程短、投资少、能耗低，没有其他的化学物质参与反应，对环境污染小或基本无污染的优势。并且为了更好的实现上述合成方法，本发明还提供了一种氢等离子法合成硅烷的装置——硅烷合成塔，该合成塔设计合理，结构紧凑，占地面积小，合成效果好。 |
