一种氢等离子法硅烷合成塔
基本信息
| 申请号 | CN201721102269.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207294192U | 公开（公告）日 | 2018-05-01 |
| 申请公布号 | CN207294192U | 申请公布日 | 2018-05-01 |
| 分类号 | C01B33/04 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 许文;吴延炜 | 申请（专利权）人 | 惟盈投资管理有限公司 |
| 代理机构 | 成都众恒智合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王育信 |
| 地址 | 610000 四川省成都市武侯区人民南路四段28号22栋1单元10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种氢等离子法硅烷合成塔，包括壳体和等离子发生器；所述壳体内从上往下依次设为等离子发生区、硅烷合成区、喷氢急冷区、喷液急冷区和气液分离区，且硅烷合成区与喷氢急冷区之间还设有内径从上往下逐渐增大的合成尾气出口；所述等离子发生器设置在等离子发生区内，所述等离子发生区侧面设有原料氢气入口；所述硅烷合成区侧面设有原料硅粉入口；所述喷氢急冷区侧面均匀设有若干冷态氢气喷入口；所述喷液急冷区底部侧面设有多个冷液入口，喷液急冷区内部均匀设有多组喷液管；所述气液分离区侧面上方设有合成气出口，气液分离区下方设为液体出口。该合成塔设计合理，结构紧凑，占地面积小，合成效果好。 |
