显微扫描平台及工作区域平面度校准方法
基本信息
申请号 | CN201911320910.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111122583A | 公开(公告)日 | 2020-05-08 |
申请公布号 | CN111122583A | 申请公布日 | 2020-05-08 |
分类号 | G01N21/88;G01N25/72 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 阎灼辉 | 申请(专利权)人 | 杭州浚惠生物科技有限公司 |
代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 刘静 |
地址 | 200233 上海市徐汇区桂平路333号6号楼103室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及显微镜扫描技术领域,尤其为显微扫描平台,包括扫描平台,所述扫描平台为工作台,且工作台表面设有XY坐标系,X轴与Y轴的零点交接于扫描平台的拐角处,故X轴与Y轴所形成面积位于坐标系的第一象限,且X轴与Y轴坐标值均为正值,显微扫描平台工作区域平面度的校准方法。本发明通过采用X轴和Y轴来对扫描平台进行快速全面的扫描,并通过坐标系来对扫描平台的缺陷处进行确定,对缺陷处进行标记和记录,方便工作人员对扫描平台进行调整,对缺陷处进行修正,同时解决了现有的供显微扫描平台及工作区域平面度校准方法无法对扫描平台进行快速扫描,且无法对缺陷处的具体位置进行确定和调整的问题。 |
