精密外转子气浮抛光装置
基本信息
| 申请号 | CN201910535733.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110253407A | 公开（公告）日 | 2019-09-20 |
| 申请公布号 | CN110253407A | 申请公布日 | 2019-09-20 |
| 分类号 | B24B29/02（2006.01）I; B24B41/04（2006.01）I; B24B55/02（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 田硕 | 申请（专利权）人 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道留仙大道1201号平山工业区17栋109号2层2号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种精密外转子气浮抛光装置，本发明转动的抛光筒位于气浮轴承的外侧，抛光筒内部和外部均与空气接触，大大增加了散热效率，因此不需要专门设置散热结构；径向轴承采用小孔节流，轴向轴承采用多孔质，这样保证气浮主轴在磨削时径向具有比较大的承载力，轴向具有比较高的刚度。 |
