精密外转子气浮主轴

基本信息

申请号 CN201920952398.7 申请日 -
公开(公告)号 CN210115464U 公开(公告)日 2020-02-28
申请公布号 CN210115464U 申请公布日 2020-02-28
分类号 B23B19/02 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 田硕 申请(专利权)人 深圳市华腾半导体设备有限公司
代理机构 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 代理人 深圳市华腾半导体设备有限公司
地址 518000 广东省深圳市南山区桃源街道留仙大道1201号平山工业区17栋109号2层2号房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种精密外转子气浮主轴,本实用新型转动的芯轴位于气浮轴承的外侧,芯轴旋转与空气摩擦产生的热比较容易排出,不需要专门设置散热结构;径向轴承采用小孔节流,轴向轴承采用多孔质,这样保证气浮主轴在磨削时径向具有比较大的承载力,轴向具有比较高的刚度。