精密外转子气浮主轴
基本信息
申请号 | CN201920952398.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210115464U | 公开(公告)日 | 2020-02-28 |
申请公布号 | CN210115464U | 申请公布日 | 2020-02-28 |
分类号 | B23B19/02 | 分类 | 机床;不包含在其他类目中的金属加工; |
发明人 | 田硕 | 申请(专利权)人 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
代理机构 | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
地址 | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道留仙大道1201号平山工业区17栋109号2层2号房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种精密外转子气浮主轴,本实用新型转动的芯轴位于气浮轴承的外侧,芯轴旋转与空气摩擦产生的热比较容易排出,不需要专门设置散热结构;径向轴承采用小孔节流,轴向轴承采用多孔质,这样保证气浮主轴在磨削时径向具有比较大的承载力,轴向具有比较高的刚度。 |
