一种阵列式元器件的测试装置和阵列式元器件的检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202010797682.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111812447A | 公开（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申请公布号 | CN111812447A | 申请公布日 | 2020-10-23 |
| 分类号 | G01R31/01(2020.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张小东;蔡建镁;袁昊冉;苏荣;黄新青;周竞斌;幸刚 | 申请（专利权）人 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市精英专利事务所 | 代理人 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区桃源街道留仙大道1201号平山工业区17栋109号2层2号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种阵列式元器件的测试装置和阵列式元器件的检测方法。一种阵列式元器件的测试装置，包括移动机构，及设于移动机构动力输出端的检测机构；所述移动机构用于驱动检测机构运动，以使对阵列式设置的待测工件进行检测。本发明待测工件为阵列式设置，检测机构设置在移动机构上，以使检测机构能对待测工件逐一进行检测。本发明无需将待测工件进行剥离，直接在固定盘上进行测试，节省工序，减少设备，降低成本，提高效率。 |
