一种阵列式元器件的测试装置

基本信息

申请号 CN202021653411.8 申请日 -
公开(公告)号 CN212364467U 公开(公告)日 2021-01-15
申请公布号 CN212364467U 申请公布日 2021-01-15
分类号 G01R31/01;G01R1/04;G01R1/067;G01B11/00 分类 测量;测试;
发明人 张小东;蔡建镁;袁昊冉;苏荣;黄新青;周竞斌;幸刚 申请(专利权)人 深圳市华腾半导体设备有限公司
代理机构 深圳市精英专利事务所 代理人 深圳市华腾半导体设备有限公司
地址 518000 广东省深圳市南山区桃源街道留仙大道1201号平山工业区17栋109号2层2号房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种阵列式元器件的测试装置,包括移动机构,及设于移动机构动力输出端的检测机构;所述移动机构用于驱动检测机构运动,以使对阵列式设置的待测工件进行检测。本实用新型待测工件为阵列式设置,检测机构设置在移动机构上,以使检测机构能对待测工件逐一进行检测。本实用新型无需将待测工件进行剥离,直接在固定盘上进行测试,节省工序,减少设备,降低成本,提高效率。