一种阵列式元器件的测试装置
基本信息
申请号 | CN202021653411.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212364467U | 公开(公告)日 | 2021-01-15 |
申请公布号 | CN212364467U | 申请公布日 | 2021-01-15 |
分类号 | G01R31/01;G01R1/04;G01R1/067;G01B11/00 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 张小东;蔡建镁;袁昊冉;苏荣;黄新青;周竞斌;幸刚 | 申请(专利权)人 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
代理机构 | 深圳市精英专利事务所 | 代理人 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
地址 | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道留仙大道1201号平山工业区17栋109号2层2号房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种阵列式元器件的测试装置,包括移动机构,及设于移动机构动力输出端的检测机构;所述移动机构用于驱动检测机构运动,以使对阵列式设置的待测工件进行检测。本实用新型待测工件为阵列式设置,检测机构设置在移动机构上,以使检测机构能对待测工件逐一进行检测。本实用新型无需将待测工件进行剥离,直接在固定盘上进行测试,节省工序,减少设备,降低成本,提高效率。 |
