金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂及其使用方法

基本信息

申请号 CN201711255823.9 申请日 -
公开(公告)号 CN107858757A 公开(公告)日 2018-03-30
申请公布号 CN107858757A 申请公布日 2018-03-30
分类号 C30B33/10;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈国涛;夏庆锋;郑庆刚 申请(专利权)人 宁波道乐新材料科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 315336浙江省宁波市慈溪市杭州湾新区同济产业园15号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂,所述添加剂包括如下组分:黄原胶、单宁酸、硅基表面活性剂和余量的去离子水;其中,黄原胶的重量含量为0.2‑3%;单宁酸的重量含量为0.2‑3%;硅基表面活性剂重量含量为0.05‑0.2%;余量为去离子水。使用本发明中的添加剂对金刚线切割多晶硅片进行酸制绒后,硅片表面绒面均匀性好,反射率比常规无添加剂制绒后的金刚线多晶硅片反射率低5‑7%。该添加剂无毒性,易实施,稳定性好,具有很好的实际应用价值。