一种高结合力氮化铝覆铜陶瓷基板
基本信息
申请号 | CN202121126397.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214797405U | 公开(公告)日 | 2021-11-19 |
申请公布号 | CN214797405U | 申请公布日 | 2021-11-19 |
分类号 | H01L23/498(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 王敏 | 申请(专利权)人 | 南昌光谷光电工业研究院有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 330000江西省南昌市高新技术产业开发区艾溪湖北路699号101#主厂房1层101室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种高结合力氮化铝覆铜陶瓷基板,包括粗化后的氮化铝陶瓷基板,与所述粗化后的氮化铝陶瓷基板接触的第一结合层,与第一结合层接触的第二铜层及第二铜层表面处理层,所述第一结合层由一种金属或两种以上金属组合,通过对氮化铝陶瓷基板进行粗化,提升表面的粗糙程度,形成氧化铝薄层后再与第一结合层的金属薄膜进行连接,提高了氮化铝陶瓷基板表面的结合度,进一步提升于氮化铝陶瓷基板与所述第二铜层的结合力,大大解决半导体模块在长时间的工作后,易出现氮化铝陶瓷和铜层分离,导致半导体模块性能大幅度下降甚至失效的风险。 |
