一种高结合力氮化铝覆铜陶瓷基板

基本信息

申请号 CN202121126397.0 申请日 -
公开(公告)号 CN214797405U 公开(公告)日 2021-11-19
申请公布号 CN214797405U 申请公布日 2021-11-19
分类号 H01L23/498(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王敏 申请(专利权)人 南昌光谷光电工业研究院有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 330000江西省南昌市高新技术产业开发区艾溪湖北路699号101#主厂房1层101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种高结合力氮化铝覆铜陶瓷基板,包括粗化后的氮化铝陶瓷基板,与所述粗化后的氮化铝陶瓷基板接触的第一结合层,与第一结合层接触的第二铜层及第二铜层表面处理层,所述第一结合层由一种金属或两种以上金属组合,通过对氮化铝陶瓷基板进行粗化,提升表面的粗糙程度,形成氧化铝薄层后再与第一结合层的金属薄膜进行连接,提高了氮化铝陶瓷基板表面的结合度,进一步提升于氮化铝陶瓷基板与所述第二铜层的结合力,大大解决半导体模块在长时间的工作后,易出现氮化铝陶瓷和铜层分离,导致半导体模块性能大幅度下降甚至失效的风险。